拓荆科技获得发明专利授权:“一种晶圆的升降装置及半导体设备”
作者:小微
发表于:2026年03月23日
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆的升降装置及半导体设备”,专利申请号为CN202211330014.0,授权日为2026年3月17日。
专利摘要:本发明提供了一种晶圆的升降装置及半导体设备,该升降装置包括:基座盘,基座盘上穿设有多个升降销,升降销用于支撑并带动其顶部的晶圆进行升降,基座盘底部设有支撑部以支撑基座盘;卡位环,卡位环套设于基座盘的支撑部上,卡位环与基座盘的相对位置固定以使得基座盘升降时带动卡位环一起升降;以及多个杠杆,每个杠杆的一端卡接固定于卡位环上,另一端与该杠杆相对应的升降销底部的连接座接触连接,以使基座盘及卡位环发生升降时,杠杆转动以带动升降销发生与卡位环反向的升降,进而带动升降销顶部的晶圆升降。

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今年以来拓荆科技新获得专利授权6个,较去年同期减少了25%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了3.01亿元,同比减4.33%。

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通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目106次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息709条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可38个。
数据来源:天眼查APP
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